主要特点：

• 石墨烯薄膜晶圆生长产业化设备

• APC系统；真空蝶阀自动控制

• 碳源等工艺气体MFC控制

• 快速冷却功能

• 薄膜制备过程全自动控制

• 片舟方式

主要参数（可按需求定制）：

• 腔室直径：250mm

• 恒温区：400mm

• 工艺管材质：Sic/石英

• 极限真空：小于3Pa

• 装取料方式：升降机构（速度可调）

• 工艺温度：1020-1050℃