石墨烯薄膜产业化设备
宽幅卷对卷连续生长
APC系统;真空蝶阀自动控制
碳源等工艺气体MFC控制
薄膜制备过程全自动控制
三腔室结构
工作温度:1020-1050℃
恒温区:1000mm、五段控温
工艺管材质:石英管
工艺管内径:Φ250mm
铜箔宽度:200mm
铜箔运行速度约:100-400mm/min,可调
极限真空度:小于3Pa,可恒压控制