■ 设备系统简介
◆ 结构型式：卧式，单管或多管系统自动控制
◆ 适应晶体尺寸：2-8"
◆ 送取片方式：自动悬臂石英推拉舟，配合手动取、
放片方式。
◆ 最高温度：1000℃
◆ 工作温度：400℃～850℃连续可调
◆ 单点温度稳定性：400℃～850℃≤±1 ℃/24h
◆ 系统极限真空度：优于3 Pa
◆ 抽速：抽至极限真空时间＜15Min。
◆ 工作压力范围：100-760 Torr连续可调
◆ 供电电源：三相五线380V±10%，50Hz
◆ 冷却水：2～4Kgf/c㎡，8L/min；