主要特点：

• ♦产能：1200片/管

• ♦管数：5管

• ♦系统控制：PLC和PC控制基础

• ♦通讯：Melsec, MES, I/O, SECS-II等

• ♦自动化集成：用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

硬件规格：

• ♦恒温区长度：1600mm

• ♦温区数量：5个温区

• ♦最高温度：1050℃

• ♦温度均匀性：600℃-900℃±0.5℃

• ♦晶圆装载法：碳化硅桨悬臂/软着陆

• ♦桨的最大承重量：20KG

• ♦工艺腔和舟的材质：石英