◆ 用工控机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制。
◆ 采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高。
◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。
◆ 具有完善的报警功能及安全互锁装置。
◆ 具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力 报警, N2 压力报警,流报警等。
◆ 现有的PECVD改造升级后具有生长SiO2薄膜的功能,解决了电池组件PID问题。
同时可生长SiNxOy薄膜(背面钝化工艺),可极大地提高电池的转换效率。
■ 类 型
◆ 装片数量: 320片/舟(125*125) 252片/舟(156*156)
◆ 净化台洁净度:100级(10000级厂房)
◆ 自动化程度:自动控制温度及工艺过程。
◆ 送取片方式:软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大、使用寿命长。
■ 技术指标
◆ 每管最大装片量:320片/舟(125*125) 252片/舟(156*156)
◆ 工艺指标:片内±3%,片间±3%,批间±3%
◆ 工作温度:200~500℃
◆ 温区精度及长度(静态闭管测试):1200mm ±1℃
◆ 气体流量精度:±1%FS
◆ 气路系统气密性:1×10-7Pa.m³/s
◆ 控制:全进口自动压力闭环调节系统,精准控制反应真空; 40KHz AE 高频电源;工艺舟软着陆;全数字式控制,完善安全的过程控制保护。
◆ 1管、2管、3管、4管分别可选;自动装载机械手可选,设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。