■  设备优势

◆ 温度控制：采用进口稳定可靠的智能仪表，能够实现整个工艺过程的自动精确控温。

◆ 生长材料定位系统：以进口直线电机为主体，系统定位精确且无抖动，加速度大能快速启动，可快速精准的将生长材料移动至下一个生长点。

◆ 黄金炉体加热系统：采用“黄金”炉体加热，能够快速升温，准确恒温，精确降温。“黄金”炉体主体由石英管、电阻丝及刚玉组成，洁净度高，适合于IC、电子器件的快速退火、液相外延等工艺。

◆ 真空系统：本系统配有真空系统，极限真空度1Pa。本地真空时间视工艺管路。

◆ 工艺气体：可配置H_2、 N_{2 、O2}  等工艺气体，带有自动连锁, 危险气体检测及尾气燃烧装置。

 

■  主要技术指标  

◆ 工作温度：300-700℃恒温区长度：240mm（可根据客户要求进行定制）

◆ 温区精度: 500℃<工作温度<650℃：±0.5℃

◆ 单点温度稳定性（动态测试）：±0.1℃

◆ 温度斜变能力：最大可控升温速率：50℃/min   最大可控降温速率：30℃/min

◆ 气体流量精度：1% FS

◆ 气路系统气密性：1×10^-7Pa·m³/S

◆ 速度：0.1~9999mm/s

◆ 炉体移动速度：5~1000mm/min